7.5.3真空减压阀

　　如图7-35所示，真空阀用于控制真空泵产生的真空的通断，真空吸盘的吸着和脱离。真空 阀的种类很多，其分类方法与气动换向阀的分类基本相同。

　　按通口数目可分为两通阀、三通阀 和五通阀。按控制方式可分为电磁控制真空阀、机械控制真空阀、手动控制真空阀和气控型真 空阀。按主阀的结构形式可分为截止式、膜片式和软质密封滑阀式。

 一般来说，间隙密封的滑阀、没有使用气压密封圈的弹性密封的滑阀、直动式电磁阀、他 控式先导电磁阀和非气压密封的截止阀等都可以用于真空系统中。